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廢氣處理工藝流程：收集裝置---水噴淋---光氧催化裝置---離心風機---煙囪高空排放。
光氧催化氧化凈化裝置是利用特制的高能高效UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、三甲胺、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、苯乙烯、苯、甲苯、二甲苯、酮類、DMF、酯類等VOC分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。
UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。工業廢氣利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對工業廢氣進行協同分解氧化反應，使工業廢氣物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。利用高能UV光束裂解工業廢氣中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸(DNA)，再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到凈化及殺滅細菌的目的。
殘留的O3分子和廢氣分子，進入活性碳中再次發生發應，活性碳采用蜂窩活性碳或活性碳纖維濾筒都可以，以降低設備運行阻力。
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